氦氖激光器是以中性原子氣體氦和氖作為工作物質(zhì)的氣體激光器, 由放電管、共振腔、激光電源三部分組成, 以連續(xù)激勵方式輸出連續(xù)激光。穩(wěn)頻氦氖激光器的相干長度可達100米左右。頻率穩(wěn)定性進一步提高了臨界測量或曝光的相干長度。